取扱製品(空調機器・公害防止装置)

クリーンルーム関連機器

Clean Room

エアーシャワー

特徴

広範囲の変動気流 気流方向変化により、広範囲にエアージェットを吹き付けます。 ルーバー等、気流制御の機構がないため、発じんがありません。 除じん効率の向上とジェット吹付け時間の短縮 短時間に除じん効果を実現。 クリーンルーム室内への入室時間を短縮、ジェット時間半減。

用途

半導体製造等のクリーンルーム用途

種類

規格

採用事例・取引業界

クリーンルーム(半導体、液晶、医薬品、食品など)

補足説明

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フィルターユニット

特徴

システム天井用フィルターユニット。クリーンルームに欠かせない清浄空気を生成。ターボファンを搭載。DCBLタイプはDCBLモーターを搭載し、さらに省エネ効果を実現しています。集中監視規制システムに対応可能(DCBLタイプ)風量、風速の個別制御可能(DCBLタイプ)その他、多彩なオプションに対応します。(フィルターグレード、ケミカルフィルター搭載、アウトガス対応等)

※DCBL:直流ブラシレスモーター

用途

半導体製造等のクリーンルーム用途

種類

・DCBLモータータイプ
・ACモータータイプ

規格

採用事例・取引業界

クリーンルーム(半導体、液晶、医薬品、食品など)

補足説明

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ユニット式クリーンルーム

特徴

据え付けが簡単なユニット式クリーンルームです。

・移動式クリーンルーム
  キャスター付ですから必要な場所へ移動できます。
・固定式クリーンルーム
  自立式でビニールカーテンの為、間仕切り工事は不要です。
・天つり式クリーンルーム
  床面に多量の水を流す場所に適します。

用途

半導体製造等のクリーンルーム用途

種類

移動式クリーンルーム
固定式クリーンルーム
天つり式クリーンルーム

規格

ISOクラス7

採用事例・取引業界

クリーンルーム(半導体、液晶、医薬品、食品など)

補足説明

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パスボックス

特徴

パスボックスはクリーンルーム内外を結ぶ、物品の受け渡しを行う装置です。

用途

半導体製造等のクリーンルーム用途

種類

標準型
特殊型

規格

採用事例・取引業界

クリーンルーム(半導体、液晶、医薬品、食品など)

補足説明

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排気ダンパー

特徴

排気ダンパーはクリーンルームの排気口として使用され、まわりの部屋、廊下などに対して陽圧に保つためのものです。排気ダンパーには、微圧調整機能付きのものと、不付きの簡易型の2種類がありますので用途に合せてご利用ください。

用途

半導体製造等のクリーンルーム用途

種類

規格

採用事例・取引業界

クリーンルーム(半導体、液晶、医薬品、食品など)

補足説明

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外気処理ユニット

特徴

空調機または室内に外気を導入する前にじんあい汚染を取りのぞくファン付き外気処理専用フィルターユニットです。高性能フィルターにより、捕集効率95%(比色法)。フィルターが汚れるとフィルター前後の差圧をキャッチし、ランプで表示。 フィルターの点検、交換の容易な大型扉。

用途

半導体製造等のクリーンルーム用途

種類

規格

採用事例・取引業界

クリーンルーム(半導体、液晶、医薬品、食品など)

補足説明

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